주식회사 나노정밀코리아
NANO Metrology KOREA Co., Ltd.
VX 3000시리즈
소형/ 고 정밀
VX 3030D
주요 사양
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카메라 : 5M픽셀 CMOS
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시야 : 6x116mm [고정밀] 20x130mm [넓은시야]
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스테이지 이송 범위 : X축 110mm, Y축 고정
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Z축 이송 범위 : 35mm
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측정 정밀도 : ±(2+0.005L)μm
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반복 정밀도 : ±0.1um
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적재 하중 : 2kg
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중량 : 31kg
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옵션 : 엑셀 전송 프로그램
공유 사양
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측정 소프트웨어 : Vision X
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광학계 : 2중 평행 광학계 [고 정밀/ 넓은시야 동시 내장]
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조명 : 평행광학계 [투과/ 반사/ 외부, LED]
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디스플레이 해상도 : 0.1μm
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동작 : 프로그램 제어 전 자동 시스템 [x,y,z 축]
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입력 전원 : AC100 ~ 240V/ 50~60Hz
소형/ 범용
VX 3100D
주요 사양
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카메라 : 5M픽셀 CMOS
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시야 : 20x120mm [고 정밀], 100x200mm [넓은시야]
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스테이지 이송 범위 : X축 110mm, Y축 고정
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Z축 이송 범위 : 35mm
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측정 정밀도 : ±(4+0.005L)μm
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반복 정밀도 : ±0.5um
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적재 하중 : 2Kg
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중량 : 31Kg
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옵션 : 엑셀 전송 프로그램
공유 사양
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측정 소프트웨어 : Vision X
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광학계 : 2중 평행 광학계 [고 정밀/ 넓은시야 동시 내장]
-
조명 : 평행광학계 [투과/ 반사/ 외부, LED]
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디스플레이 해상도 : 0.1μm
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동작 : 프로그램 제어 전 자동 시스템 [x,y,z 축]
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입력 전원 : AC100 ~ 240V/ 50~60Hz
중형/ 범용
VX 3200D
주요 사양
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카메라 : 5M픽셀 CMOS
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시야 : 130x130mm [고 정밀], 200x200mm [넓은시야]
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스테이지 이송 범위 : X축 110mm, Y축 110mm
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Z축 이송 범위 : 75mm
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측정 정밀도 : ±(4+0.05L)μm
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반복 정밀도 : ±0.5um
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적재 하중 : 5Kg
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중량 : 49Kg
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옵션 : 높이측정 광학 프로브/ 엑셀 전송 프로그램
공유 사양
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측정 소프트웨어 : Vision X
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광학계 : 2중 평행 광학계 [고 정밀/ 넓은시야 동시 내장]
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조명 : 평행광학계 [투과/ 반사/ 외부] [백색/ 녹색]
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디스플레이 해상도 : 0.1μm
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동작 : 프로그램 제어 전 자동 시스템
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입력 전원 : AC100 ~ 240V/ 50~60Hz
소형/ 범용
VX 3300D
주요 사양
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카메라 : 5M픽셀 CMOS
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시야 : 130x230mm [고 정밀], 300x200mm [넓은시야]
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스테이지 이송 범위 : X축 120mm, Y축 110mm
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Z축 이송 범위 : 75mm
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측정 정밀도 : ±(4+0.005L)μm
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반복 정밀도 : ±0.5um
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적재 하중 : 5Kg
-
중량 : 75Kg
-
옵션 : 높이측정 광학 프로브/ 엑셀 전송 프로그램
공유 사양
-
측정 소프트웨어 : Vision X
-
광학계 : 2중 평행 광학계 [고 정밀/ 넓은시야 동시 내장]
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조명 : 평행광학계 [투과/ 반사/ 외부] [백색/ 녹색]
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디스플레이 해상도 : 0.1μm
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동작 : 프로그램 제어 전 자동 시스템
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입력 전원 : AC100 ~ 240V/ 50~60Hz
