주식회사 나노정밀코리아
NANO Metrology KOREA Co., Ltd.
VX 3500 / VX 8500 | 대형 원샷 측정기
범용
VX 3500
주요 사양
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카메라 : 5M픽셀 CMOS
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시야 : 430x430mm [고정밀] 500x400mm [넓은시야]
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스테이지 이송 범위 : X축 410mm, Y축 310mm
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Z축 이송 범위 : 200mm
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측정 정밀도 : ±(3+0.005L)μm
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반복 정밀도 : ±0.5um
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적재 하중 : 20kg
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중량 : 950kg
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옵션 : 엑셀 전송 프로그램/ 수평회전 장치/ 높이측정 광학 프로브
공유 사양
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측정 소프트웨어 : Vision X
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광학계 : 2중 평행 광학계 [고 정밀/ 넓은시야 동시 내장]
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조명 : 평행광학계 [투과/ 반사/ 외부, LED]
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디스플레이 해상도 : 0.1μm
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동작 : 프로그램 제어 전 자동 시스템 [x,y,z 축]
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입력 전원 : AC100 ~ 240V/ 50~60Hz
고 정밀
VX 8500
주요 사양
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카메라 : 20M픽셀 CMOS
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시야 : 430x430mm [고정밀] 500x400mm [넓은시야]
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스테이지 이송 범위 : X축 410mm, Y축 310mm
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Z축 이송 범위 : 200mm
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측정 정밀도 : ±(2.8+0.005L)μm
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반복 정밀도 : ±0.5um
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적재 하중 : 20kg
-
중량 : 950kg
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옵션 : 엑셀 전송 프로그램/ 수평회전 장치/ 높이측정 광학 프로브
공유 사양
-
측정 소프트웨어 : Vision X
-
광학계 : 2중 평행 광학계 [고 정밀/ 넓은시야 동시 내장]
-
조명 : 평행광학계 [투과/ 반사/ 외부, LED]
-
디스플레이 해상도 : 0.1μm
-
동작 : 프로그램 제어 전 자동 시스템 [x,y,z 축]
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입력 전원 : AC100 ~ 240V/ 50~60Hz
