주식회사 나노정밀코리아
NANO Metrology KOREA Co., Ltd.
VX 8000시리즈
소형/ 고 정밀
VX 8200
주요 사양
-
카메라 : 20M픽셀 CMOS
-
시야 : 130x130mm [고정밀] 200x200mm [넓은시야]
-
스테이지 이송 범위 : X축 110mm, Y축 110mm
-
Z축 이송 범위 : 75mm
-
측정 정밀도 : ±(1.5+0.005L)μm
-
반복 정밀도 : ±0.5um ~ ±2um
-
적재 하중 : 7.5kg
-
외형 사이즈 : 531×386×731mm
-
중량 : 49kg
-
옵션 : 수평 회전 장치/ 엑셀 전송 프로그램
공통 사양
-
측정 소프트웨어 : Vision X
-
렌즈 : 2중 평행 광학 계
-
조명 : 멀티앵글 4분할 표면 조명(흰색 ), 0°수평 조명(녹색)
: 평행 광 투과 조명 (녹색)
-
디스플레이 해상도 : 0.1μm
-
제어 : AC 서보 제어 시스템 [x,y,z]
-
입력 전원 : AC100 ~ 240V/ 50~60Hz
중형/ 고 정밀
VX 8300
주요 사양
-
카메라 : 20M픽셀 CMOS
-
시야 : 230x130mm [고정밀] 300x200mm [넓은시야]
-
스테이지 이송 범위 : X축 210mm, Y축 110mm
-
Z축 이송 범위 : 75mm
-
측정 정밀도 : 광 시야 ±(3+0.005L)μm / ±3μm
: 고 정밀 ±(1.5+0.005L)μm / ±1.5μm
-
반복 정밀도 : ±0.5um ~ ±2um
-
적재 하중 : 7.5kg
-
외형 사이즈 : 531×503×731mm
-
중량 : 75kg
-
옵션 : 높이 측정 광학 프로브/ 엑셀 전송 프로그램
공통 사양
-
측정 소프트웨어 : Vision X
-
렌즈 : 2중 평행 광학 계
-
조명 : 멀티앵글 4분할 표면 조명(흰색 ), 0°수평 조명(녹색)
: 평행 광 투과 조명 (녹색)
-
디스플레이 해상도 : 0.1μm
-
제어 : AC 서보 제어 시스템 [x,y,z]
-
입력 전원 : AC100 ~ 240V/ 50~60Hz
