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레이저 컨포컬 현미경 | LASER Conforcal Microscope
VT 6000
VT6000은 다양한 정밀 부품 및 재료 표면의 마이크로 나노 레벨의 측정/분석을 위한 전용 장비 입니다.
분석 기능
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거칠기 분석 : ISO4287, ISO25178, ISO12781등의 표준 규약 준수
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기하학적 형상 분석 : 단차, 거리, 각도, 곡율, 진직도, 진원도 등
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구조 분석 : 홀 용적, 홈 깊이 등
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주파수 분석 : 텍스처 방항, 스팩트럼 분석 등
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기능 분석 : SK매개 변수, 볼륨 매개변수 등
데이터 처리 기능
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위치 조정 : 레벨링, 미러링 등
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보정 : 공간 필터링, 수정, 노이즈 제거 등
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필터링 : 모양제거, 표준 필터링, 스팩트럼 필터링 등
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추출 : 영역 추출, 프로필 추출 증
사 양
원리 : 회전 디스크 타입 컨포컬 광학 시스템
대물렌즈 : 5x, 10x, 20x, 50x
시야 : 120x120μm - 1.2x1.2mm ±(2+0.005L)μm
스테이지 정밀도 : ±(0.2 + L/100)μm
반복 정밀도 : 12nm
디스플레이 행상도 : 0.5nm
평면 측정 정밀도 : ±2%
평면 반복정밀도 : 40nm
평면 디스플레이 해상도 ;1nm
스테이지 측정 범위 : 100x100mm
Z 축 이동 범위 : 100ㅡㅡ
Z축 스캔 범위 : 10mm
조명 : 백색 LED
대물렌즈 회전대 : 전동 5구
중량 : 50Gg
전원 : 100 - 240VAC, 50/60Hz, 300W
적용 사례
광학 회절 격자
나노급 광학 소자
접합 마찰 및 마모 공정 부품
매끄러운 표면의 나노 스케일 이미징
마이크로 요철 표면
반도체 칩 표면
렌즈 구면
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